應用在汽車中的壓力傳感器

應用在汽車中的壓力傳感器

　　傳感器是將各種非電量（包括物理量、化學量、生物量等）按一定規律轉換成便于處理和傳輸的另一種物理量 （一般為電量）的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉換元件和測量電路三部分組成，有時還需外加輔助電源。 傳感器方框圖如圖1所示。

　　制造半導體壓力傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應。單晶硅材料在受到應力作用后，其電阻率發生明顯變化，這種現象稱為壓阻效應。

　　壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據晶體不受定向應力時，電導率是同性的，只有受定向應力時才表現出各向異性，由于應力能引起能帶的變化，能谷能量移動，導致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產生壓阻效應。單晶硅效應包括n型和p型硅壓阻效應。選用擴散硅目的在于在設計制造壓力傳感器時可根據不同溫度下硅擴散層的壓阻特性選擇合適的擴散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結構和填充材料、敏感材料。

　　壓力傳感器按用途分類主要是壓力監視、壓力測量和壓力控制及轉換成其他量的測量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器，前者是被動供電的，需要有外電源。后者是傳感器自身產生電荷，不需要外加電源，根據不同領域對壓力測量的精度不同分為低精度和高精度的壓力傳感器。

應用在汽車中的壓力傳感器

　　1 氣壓傳感器

　　1）能和原理：主要是用來檢測氣壓的傳感器。在硅片的中間，從背面腐蝕形成了正方形的膜片，利用膜片將壓力轉換成應力，在膜片的表面，通過擴散雜質形成了四個p型測量電阻，它們按橋式電路連接，利用壓阻效應將加在膜片上的應力變換成電阻的變化，此電阻的變化通過橋式電路之后，在橋式電路的兩個輸出端之間，以電位差的形式對外輸出。傳感器原理圖如圖2所示。

　　2）氣壓的輸出特性：氣壓與輸出關系曲線如圖3所示，是一接近線性關系。

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