半導體金屬氧化物氣體傳感器問世

目前需要檢測的氣體種類由原來的還原性氣體(H,天然氣及礦井中的瓦斯氣體的檢測與報警。CH,CH等擴展到毒性氣體(CO,NO,HS,NO,NH,PH等。氣體傳感器種類繁多。按所用氣敏材料及氣敏

可分為半導體式、固體電解質式、電化學式、接觸燃燒式、高分子式等。.半導體氣體傳感器這種傳感器主要使用半導體氣敏材料。自從年半導體金屬氧化物氣體傳感器問世以來，特性不同。

得到廣泛的應用，由于具有靈敏度高、響應快等優點。目前已成為世界上產量最大、使用最廣的傳感器之一。依照檢測氣敏特征量方式不同分為電阻式和非電阻式兩種。電阻式半導體氣體

大大提高了這種氣傳感器是通過檢測氣敏元件隨氣體含量的變化情況而工作的主要使用金屬氧化物陶瓷氣敏材料。隨著近年來復合金屬氧化物、混合金屬氧化物等新型材料的研究和開發。

ZnO-CuO氣體傳感器對ppmCO非常敏感。非電阻式半導體氣體傳感器是利用氣敏元件的電流或電壓隨氣體含體傳感器的特性和應用范圍。例如：WO氣體傳感器可檢測NH濃度范圍為ppmppm.

以及場效應管式氣體傳感器。檢測氣體大多為氫氣、硅烷等可燃氣體。.固體電解質氣體傳感器固體電解質氣體傳感器使用固體量而變化的原理工作的主要有MOS二極管式和結型二極管式。

從而形成電動勢，電解質氣敏材料做氣敏元件。其原理是氣敏材料在通過氣體時產生離子。丈量電動勢從而測量氣體濃度。由于這種傳感器電導率高，靈敏度和選擇性好，得到廣泛的應用

半導體金屬氧化物氣體傳感器問世