傳感器在半導體晶片加工機上的運用

1、在激烈的加工環境中提供可靠的檢測

        微型光電傳感器 WS/WE4-3 帶有 Teflon? 外殼，根據外殼防護等級分級屬于 IP 69K，因此適用于化學環境中。由于 SICK 的傳感器方案故障平均時間間隔長，即使是在要求極高的應用條件下也能勝任。

2、晶片載體的位置監控（編碼器）

        晶片載體的位置通過絕對值編碼器可靠地測定：垂直軸上通過 AFS60 單圈型，水平軸上通過 A3M60 多圈型。通過現場總線和工業以太網接口，該編碼器能夠輕易而經濟地集成到機器控制器中。

3、快速準確的晶片檢測（光纖傳感器）

        晶片在機器人抓手中的準確定位相對于其存儲坐標可通過借助于多個傳感器操縱機器人控制器而優化。為此，傳感器需具有極高的開關頻率、極低的抖動和精確的光點。光纖傳感器 WLL180T 具有僅 16 μs 的反應時間，與帶有小型光學元件的光導纖維體 LL3-TH 結合，運行精準而經濟，完全符合機器要求。

4、晶片盒中晶片的精確分類

        兩臺激光漫反射式光電傳感器 WT12L-2 可檢測晶片邊緣（通常為 C 形）并由此檢測晶片盒中半導體晶片的位置正確與否。從而防止機器人抓手損害晶片。由此避免了材料流失和復雜的維護作業。（光電傳感器）

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